GB/T11378-2005金屬覆蓋層覆蓋層厚度測量輪廓儀法內容是什么?百檢網檢測范圍廣泛，可根據客戶需求選擇合適的檢測標準及項目安排檢測，全國近千家合作實驗室，CMA/CNAS資質齊全，可就近安排寄樣檢測。今天百檢網就給大家簡單介紹一下GB/T11378-2005金屬覆蓋層覆蓋層厚度測量輪廓儀法標準內容。

1.范圍

1.1 本標準規(guī)定了金屬覆蓋層厚度的一種測量方法。該方法是首先在覆蓋層表面和基體金屬表面之間形成一個臺階,然后應用輪廓記錄儀測量臺階的高度。本標準具體規(guī)定了儀器的特性以及輪廓儀法的特殊測量規(guī)程。

1.2 本方法適用于測量平表面上厚度0.01μm～1000μm的金屬覆蓋層厚度,如果采取適當措施,也可以測量圓柱表面。它非常適合于微小厚度的測量,但對厚度小于0.01m的工作表面平直度、平滑度的要求非常嚴格,因此建議不要在電子觸針式儀器的*低厚度范圍內采用本標準。本方法適用于制備覆蓋層厚度標準片厚度的測量。

2.規(guī)范性引用文件

下列文件中的條款通過本標準的引用而成為本標準的條款。凡是注日期的文件,其隨后所有的修改單(不包括勘誤的內容)或修訂版均不適用于本標準,然而,鼓勵根據本標準達成協議的各方研究是否可使用這些文件的*新版本。凡是不注日期的引用文件,其*新版本適用本標準。

GB/T 4955 金屬覆蓋層 覆蓋層厚度測量 陽*溶解庫侖法(idt ISO 2177)

GB/T 12334 金屬和其他非有機覆蓋層 關于厚度測量的定義和一般規(guī)則(idt ISO 2064)

3.原理

溶解一部分覆蓋層(驗收試驗)或在鍍覆之前掩蓋一部分基體(生產檢驗)以形成一臺階。用輪廓記錄儀測量臺階的高度。

4.儀器:工作參數和測量特性

4.1 輪廓記錄儀的類型

下列兩種類型的儀器都可采用:

4.1.1 電子觸針式儀器,即表面分析儀和表面輪廓記錄儀,通常是用于測量表面粗糙度。但本標準的目的是用它來記錄臺階的輪廓;

4.1.2 具有觸針及記錄臺階輪廓功能的電子感應比較儀。

電子觸針式儀器的應用更廣,可以測量粗糙度,但電子感應比較儀的結構更簡單。兩種儀器通常測量不同的厚度范圍:電子觸針式儀器的范圍是0.005μm～250μm,電子感應比較儀的范圍是1μm～1000μm。

4.2 電子觸針式儀器

4.2.1 這類儀器用于記錄表面輪廓,它們具有下列組件:

4.2.1.1 一個夾角為1.57弧度(90°)的圓錐或角錐觸針傳感器。觸針針尖橫斷面半徑公稱值為2μm、5μm、10μm或50μm。它與試驗表面接觸的壓力不應超過表1給出的數值。

4.2.1.2 一個驅動單元,它使傳感器相對于基準滑軌移動,如果滑軌可能導致被測表面損傷或者使被測臺階變形,則傳感器應在一個具有輪廓的標稱形狀基準面上移動。

4.2.1.3 一個放大單元,它使輪廓的垂直放大倍數的標稱值(Vv)在下面一組數據中任選:

100-200-500-1000—2000—5000—10000-20000-50000-100000-200000—500000-1000000。

4.2.1.4 一個描繪放大輪廓變化量的記錄儀,當記錄儀與驅動單元一起工作時,可以從下面一組數據中選擇輪廓的水平放大倍數的標稱值(Vh):

10—20-50-100—200—500-1000-2000-5000。

4.2.2 輪廓記錄儀具有下列測量特性:

——移動長度:1mm～100mm;

——厚度測量范圍:0.005μm～250μm;

——分辨率(根據測量范圍而定):0.005μm～1μm。

4.3 電子感應比較儀

4.3.1 電子感應比較儀的設計和電子觸針式儀器(4.2)非常相似,主要區(qū)別是其觸針半徑大,不能描繪表面的細微輪廓。

4.3.2 電子感應比較儀測量特性和工作參數的典型示例如下：

帶有一個能使被掃描的表面作直線運動的工作臺,一個匹配的放大器,線性度不低于5%的電子感應比較儀。采用下列工作參數:

——觸針半徑:250μm;

——*大放大倍數:×50000;

——觸針靜壓力:0.12N。

具有下列測量特性:

——移動長度:100mm;

——厚度測量范圍:1μm～1000μm;

——分辨率(根據測量范圍而定):0.02μm～20μm。

5.影響精度的有關因素

5.1 輪廓記錄

因為厚度的測量是根據被記錄的輪廓進行,因此,在一適當的放大倍數下,如果不能正確描繪出臺階,測量誤差就大。不準確的記錄可能是由于記錄儀質量不好或調節(jié)不當造成的。

5.2 垂直放大倍數

如果垂直放大倍數太低,則測量精度低,此時應調整,按照臺階輪廓記錄在記錄紙上*佳寬度選擇放大倍數。

5.3 圖形測量

如果測試表面與參比(基準)表面不平行,則水平面的記錄與圖表坐標方格是傾斜的,臺階垂直部分也是傾斜的,但它仍可垂直于圖表的坐標方格,這取決于垂直和水平放大倍數觸針的半徑,*后取決于臺階的高度(即厚度)。當輪廓傾斜時,如果對水平放大倍數和垂直放大倍數的差別不作校正,測定輪廓的中心線間的垂直距離時通常會產生誤差。

為了避免這些誤差和額外的數學運算，基準面與測試表面應平行。這可用適當的夾具或裝配去完成。

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